전국 EUV 소재·부품·장비 중소·중견기업이라면 최대 1,500만 원까지 시제품 제작, 기술 지도, 물성 평가 등 첨단 반도체 기술 지원을 받을 수 있습니다. 바로 대전테크노파크에서 추진하는 Stand-alone 고출력 EUV 검사기 장비 기술 및 인프라 구축 사업 기술지원기업 모집 공고입니다.
Stand-alone 고출력 EUV 검사기 기술 지원사업 신청하기
대전테크노파크에서 주관하는 이번 지원사업은 EUV 소재·부품·장비 관련 중소·중견기업에 최대 1,500만 원 이내의 시제품 제작 및 기술 지도 등을 지원합니다. 총 3개사를 선정하며, 반도체 초격차 기술 확보를 위한 좋은 기회가 될 것입니다. 신청은 대전기업정보포털에서 온라인으로 진행하시면 됩니다. 보통 온라인 접수 시 제출 서류가 많아 번거롭게 느껴질 수 있는데요, 이 사업은 모든 제출 서류를 압축하여 1개의 파일로 등록하는 방식이니, 미리 서류를 준비해두면 접수 시간을 절약할 수 있습니다.
신청과 공고문 상세 내용은 아래 버튼을 통해 바로 확인해 보세요.
Stand-alone 고출력 EUV 검사기 기술 지원사업의 지원대상
이번 Stand-alone 고출력 EUV 검사기 기술 지원사업은 전국에 있는 EUV 소재·부품·장비 관련 중소·중견기업을 대상으로 합니다. 특정 지역이나 기업 규모에 제한을 두는 경우가 많은데, 이 사업은 전국 단위로 폭넓게 지원하는 점이 특징입니다. 단순히 사업 분야만 맞는다고 신청하기보다는, 우리 기업이 정확히 ‘EUV 소재·부품·장비 관련’에 해당하는지 공고문 원문을 통해 꼼꼼하게 확인하는 것이 중요합니다. 애매하다면 주관기관에 직접 문의해서 정확한 자격 여부를 판단받는 것이 좋습니다.
Stand-alone 고출력 EUV 검사기 기술 지원내용과 지원금액
산업통상자원부, 대전광역시, 대전테크노파크 공고에 따르면, 이번 기술지원사업은 총 3개사를 선정하여 1기업당 최대 1,500만 원 이내의 지원금을 제공합니다. 지원 프로그램은 크게 세 가지로 나눌 수 있습니다.
| 구 분 | 지원프로그램 내용 |
|---|---|
| 기술 지원 |
|
이러한 지원은 EUV 소재 합성 공정 개발부터 제조 공정 고도화 및 상용화 기술 지원까지 포괄합니다. 특히 회분식 반응기, 미세유체 반응시스템, HPLC, 나노입도분석기 등 다양한 첨단 장비를 활용한 기술지도와 물성평가 지원이 포함되어 있어, 고가의 장비 구축이 어려운 중소기업에게는 큰 도움이 될 수 있습니다. 저도 예전에 비슷한 장비 지원을 받아본 경험이 있는데, 직접 장비를 구매하는 것보다 훨씬 효율적으로 기술 개발에 집중할 수 있었습니다.
지원 장비는 기술지원과 물성평가 지원에 활용되는데요, 시제품 제작 및 기술지도를 위해서는 회분식 반응기(60L~1,000L), 미세유체 반응시스템, 연속흐름 반응 시스템을 지원하며, 물성평가 지원에는 HPLC, 나노입도분석기, 분산안정도측정기, 수분측정기, 오토클레이브, 다중결정화스크리닝 시스템 등이 활용됩니다.
Stand-alone 고출력 EUV 검사기 기술 지원사업 신청기간 및 제출서류
이번 EUV 기술 지원사업의 신청은 2026년 7월 20일(월)부터 11월 20일(금) 18시까지 대전기업정보포털을 통해 온라인으로 접수할 수 있습니다. 상시 모집 방식으로 진행되며, 총 3개사 선정이 완료되면 조기 종료될 수 있으니, 서둘러 신청 준비를 시작하는 것이 좋습니다.
신청 시 필요한 주요 제출 서류는 다음과 같습니다.
- 지원신청서 (붙임 서식 제1호)
- 신청자력 요건 검토서 (붙임 서식 제2호)
- 개인(기업)정보 수집ㆍ이용ㆍ제공ㆍ조회 동의서 (붙임 서식 제2호)
- 청렴서약서 (붙임 서식 제3호)
- 확약서 (붙임 서식 제4호)
- 사업자등록증
- 표준재무제표증명(국세청, 2024~2025년도 자료 / 2025년 제출 불가 시 2023~2024년도 재무제표 및 2025년 부가가치세 과세표준증명 제출)
- 국세 납세증명서(국세청)
- 지방세 납세증명서(민원24시)
- 국민연금가입자명부(2025년도/국민연금관리공단)
- 4대 사회보험 사업장 가입자명부(2026년도/4대사회보험 정보연계센터)
신청서 외에도 사업자등록증, 재무제표, 각종 납세증명서, 4대 사회보험 가입자명부 등 여러 증빙 서류가 필요합니다. 과거 지원사업을 신청할 때 서류 미비로 보완 요청을 받았던 경험이 있는데요, 이런 서류들은 발급에 시간이 걸릴 수 있으니 미리 준비해서 마감일에 쫓기지 않도록 하는 것이 좋습니다. 공고문에 첨부된 양식을 사용하여 정확하게 작성해야 하며, 제출 전 누락된 서류가 없는지 꼼꼼히 확인하시기 바랍니다.
자주 묻는 질문
Q. Stand-alone 고출력 EUV 검사기 기술 지원사업의 지원대상은 누구인가요?A. 전국 EUV 소재·부품·장비 관련 중소·중견기업이 대상입니다. 반도체산업의 국내 기술경쟁력 성장 및 첨단 반도체 핵심기술 초격차 확보를 목표로 합니다.
Q. 이 사업을 통해 어떤 지원을 받을 수 있나요?A. 1기업당 최대 1,500만 원 이내에서 시제품 제작을 위한 합성공정 개발, 원료·재료 지원, EUV PR 소재 물성평가 후 결과분석 및 공정 최적화 기술 지도, 고해상도 유/무기 PR 개발품의 순도/정성/정량 분석 등 물성평가 지원을 받을 수 있습니다.
Q. 신청 기간은 언제까지이며, 조기 마감될 수도 있나요?A. 신청 기간은 2026년 7월 20일(월)부터 11월 20일(금) 18시까지이지만, 상시 모집으로 진행되며 총 3개사가 선정되면 조기 마감될 수 있습니다.
Q. 신청은 어떻게 하며, 궁금한 점은 어디에 문의할 수 있나요?A. 대전기업정보포털에 회원가입 후 온라인으로 접수합니다. 사업 관련 문의는 대전테크노파크 반도체·나노·소재팀(042-930-4922), 장비 관련 문의는 이차전지·에너지팀(042-930-4915), 시스템 문의는 정보화팀(042-251-2872)으로 연락하시면 됩니다.







